Implementación experimental de un reactor químico de vapor CVD y pruebas de funcionamiento
| dc.contributor.advisor | Ramos Moore, Esteban | |
| dc.contributor.author | Spring Flores, Pablo Andrés | |
| dc.contributor.other | Pontificia Universidad Católica de Chile. Facultad de Física | |
| dc.date.accessioned | 2019-03-08T18:53:55Z | |
| dc.date.available | 2019-03-08T18:53:55Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.description | Tesis (Magíster en Física)--Pontificia Universidad Católica de Chile, 2019 | |
| dc.description.abstract | Este trabajo presenta dos objetivos generales. Primero, la implementación de un reactor químico de vapor (CVD), y segundo, la generación de protocolos de operación óptimos del sistema. Para lograr los objetivos descritos se trabajó en la etapa de diseño, implementación y pruebas de funcionamiento, logrando el funcionamiento individual e interconectado de las distintas fases del experimento, mejorando los diseños preliminares y optimizando la elección de materiales para la construcción de las distintas etapas de un CVD. Finalmente, se consiguieron los objetivos principales, quedando como trabajo futuro la realización de pruebas de crecimiento de películas delgadas de TiC/TiN sobre sustratos de WC. | |
| dc.format.extent | iv, 64 páginas | |
| dc.identifier.doi | 10.7764/tesisUC/FIS/22324 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.7764/tesisUC/FIS/22324 | |
| dc.identifier.uri | https://repositorio.uc.cl/handle/11534/22324 | |
| dc.language.iso | es | |
| dc.nota.acceso | Contenido completo | |
| dc.rights | acceso abierto | |
| dc.subject.ddc | 620 | |
| dc.subject.dewey | Ingeniería | es_ES |
| dc.subject.other | Reactores químicos. | es_ES |
| dc.subject.other | Carburos de tungsteno. | es_ES |
| dc.title | Implementación experimental de un reactor químico de vapor CVD y pruebas de funcionamiento | es_ES |
| dc.type | tesis de maestría | |
| sipa.codpersvinculados | 119740 |