Implementación experimental de un reactor químico de vapor CVD y pruebas de funcionamiento
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Date
2019
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Abstract
Este trabajo presenta dos objetivos generales. Primero, la implementación de un reactor químico de vapor (CVD), y segundo, la generación de protocolos de operación óptimos del sistema. Para lograr los objetivos descritos se trabajó en la etapa de diseño, implementación y pruebas de funcionamiento, logrando el funcionamiento individual e interconectado de las distintas fases del experimento, mejorando los diseños preliminares y optimizando la elección de materiales para la construcción de las distintas etapas de un CVD. Finalmente, se consiguieron los objetivos principales, quedando como trabajo futuro la realización de pruebas de crecimiento de películas delgadas de TiC/TiN sobre sustratos de WC.
Description
Tesis (Magíster en Física)--Pontificia Universidad Católica de Chile, 2019