Characterization of capacitively coupled radio-frequency argon plasma by electrical circuit simulation

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dc.contributor.authorBora, Bijit
dc.contributor.authorBhuyan, Heman
dc.contributor.authorFavre Domínguez, Mario
dc.contributor.authorWyndham, Edmund
dc.contributor.authorChuaqui, Hernán
dc.date.accessioned2021-04-07T14:35:30Z
dc.date.available2021-04-07T14:35:30Z
dc.date.issued2012
dc.fuente.origenBibliotecas UC
dc.identifier.doi10.4028/www.scientific.net/AMM.110-116.5373
dc.identifier.issn1660-9336
dc.identifier.scopusid2-s2.0-81255208125
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMM.110-116.5373
dc.identifier.urihttps://repositorio.uc.cl/handle/11534/57338
dc.language.isoen
dc.nota.accesoContenido parcial
dc.pagina.final5379
dc.pagina.inicio5373
dc.revistaApplied Mechanics And Materialses_ES
dc.rightsacceso restringido
dc.titleCharacterization of capacitively coupled radio-frequency argon plasma by electrical circuit simulationes_ES
dc.typecomunicación de congreso
dc.volumenVol. 110-116
sipa.codpersvinculados1011568
sipa.codpersvinculados1003913
sipa.codpersvinculados99732
sipa.codpersvinculados100407
sipa.codpersvinculados98761
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