High brightness EUV light sources for actinic metrology

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dc.contributor.authorChoi, P.
dc.contributor.authorZakharov, S.V.
dc.contributor.authorAliaga R., Raúl
dc.contributor.authorBakouboula, A.
dc.contributor.authorBastide, J.
dc.contributor.authorBenali, O.
dc.contributor.authorBove, P.
dc.contributor.authorCau, M.
dc.contributor.authorDuffy, G.
dc.contributor.authorKezzar, W.
dc.contributor.authorLebert, B.
dc.contributor.authorPowell, K.
dc.date.accessioned2021-04-07T14:35:32Z
dc.date.available2021-04-07T14:35:32Z
dc.date.issued2010
dc.fuente.origenBibliotecas UC
dc.identifier.doi10.1117/12.848477
dc.identifier.issn1996-756X
dc.identifier.scopusid2-s2.0-77953446481
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.1117/12.848477
dc.identifier.urihttps://repositorio.uc.cl/handle/11534/57346
dc.language.isoen
dc.nota.accesoContenido parcial
dc.revistaProceedings Of Spie - The International Society For Optical Engineeringes_ES
dc.rightsacceso restringido
dc.titleHigh brightness EUV light sources for actinic metrologyes_ES
dc.typecomunicación de congreso
dc.volumenVol. 7636
sipa.codpersvinculados50868
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