Simulación Particle-In-Cell con funcionamiento en paralelo para el estudio de una descarga CCRF de argón

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2021
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Abstract
Se desarrolló una simulación Particle-In-Cell (PIC) con funcionamiento en paralelo a partir de una simulación PIC existente (eduPIC), desarrollada por el equipo de Donko et al. permitiendo dividir el trabajo en 24 procesadores. Las simulaciones utilizaron un ancho de celdas ∆x =9.3 10−5m y ∆t =6.1·10−12, mostrando que son parámetros apropiados para los valores de la longitud de Debye (λDe) y la frecuencia de oscilación de los electrones en un plasma (ωpe) aseguran el cumplimiento de las restricciones para el funcionamiento de las simulaciones PIC. Los resultados de la simulación PIC desarrollada mostraron un comportamiento semejante al de la simulación eduPIC original en una descarga Radio Frecuencia Capacitivamente Acoplada (CCRF) operada en 5 Pa de argón a 375 V. Luego la simulación desarrollada fue utilizada para caracterizar una descarga de CCRF de argón operada a 500 V entre las presiones de 1 y 45 Pa, mostrando densidades entre 0.47 y 1.87 ·1016m−3 en el centro de la descarga y temperaturas en el rango de 2.7 y 1.83 eV obtenidas para las presiones de 1 y 25 Pa, respectivamente. Los resultados de evolución de la densidad de electrones, el campo eléctrico promedio, la taza de ionización fueron vitales para poder entender el funcionamiento de la descarga CCRF de argón. Además, permitieron comprender de mejor manera los resultados experimentales obtenidos en las descargas CCRF de nitróeno operada en configuración simple y dual.
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Tesis (Magíster en Física)--Pontificia Universidad Católica de Chile, 2021
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